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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: 行星式化学气相沉积反应器内对流涡旋的数值模拟
作者: 左然;  张红;  刘祥林
发表日期: 2005
摘要: 针对三重进口行星式CVD反应器的输运过程进行了二维数值模拟研究.通过改变反应腔几何尺寸、导流管位置、三重进口流量组合、压强、温度等条件,研究反应器内对流涡旋的相应变化.根据模拟结果,对这类反应器中输运现象与外部参数的关系,特别是反应腔内对流涡旋的产生和发展作了较全面的分析和讨论,给出了抑制对流涡旋、获得薄膜生长所需的最佳输运过程的条件.
刊名: 工程热物理学报
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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左然;张红;刘祥林.行星式化学气相沉积反应器内对流涡旋的数值模拟,工程热物理学报,2005,26(4):671-673
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