SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)
行星式化学气相沉积反应器内对流涡旋的数值模拟
左然; 张红; 刘祥林
2005
Source Publication工程热物理学报
Volume26Issue:4Pages:671-673
Abstract针对三重进口行星式CVD反应器的输运过程进行了二维数值模拟研究.通过改变反应腔几何尺寸、导流管位置、三重进口流量组合、压强、温度等条件,研究反应器内对流涡旋的相应变化.根据模拟结果,对这类反应器中输运现象与外部参数的关系,特别是反应腔内对流涡旋的产生和发展作了较全面的分析和讨论,给出了抑制对流涡旋、获得薄膜生长所需的最佳输运过程的条件.
metadata_83江苏大学能源与动力工程学院;中国科学院半导体研究所
Subject Area半导体材料
Funding Organization国家自然科学基金资助项目,国家863计划子课题,国家863计划子课题
Indexed ByCSCD
Language中文
CSCD IDCSCD:2001242
Date Available2010-11-23
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Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/17083
Collection中国科学院半导体研究所(2009年前)
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GB/T 7714
左然,张红,刘祥林. 行星式化学气相沉积反应器内对流涡旋的数值模拟[J]. 工程热物理学报,2005,26(4):671-673.
APA 左然,张红,&刘祥林.(2005).行星式化学气相沉积反应器内对流涡旋的数值模拟.工程热物理学报,26(4),671-673.
MLA 左然,et al."行星式化学气相沉积反应器内对流涡旋的数值模拟".工程热物理学报 26.4(2005):671-673.
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