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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: 1.55μm MOEMS可调谐光滤波器调谐性能模拟
作者: 左玉华;  毛容伟;  王良臣;  余金中;  王启明
发表日期: 2005
摘要: 建立了等效单层梁模型和一维集总模型,用经典力学理论和传输矩阵方法模拟了多层材料构成且具有四臂固支梁结构的1.55μm Si基MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechnical-Systems)可调谐滤波器的调谐特性.模拟调谐系数与实验结果吻合较好.
刊名: 光子学报
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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左玉华;毛容伟;王良臣;余金中;王启明.1.55μm MOEMS可调谐光滤波器调谐性能模拟,光子学报,2005,34(4):525-528
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