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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: 用于光网络通信的Si基光子集成器件的研究
作者: 王启明
发表日期: 2005
摘要: 报导了可用于光网络系统终端OADM和OXC的Si基长波长量子阱窄带响应光电接收器,MOEMS和F-P TO宽频域光学滤波器,M—Z型TO光开关和MMI多路分束器以及可变光强衰减器.用应变层SiGe/Si MQW研制的RCE光电接收器响应谱半宽FWHM<6mm,外量子效率η>4.2%;采用表面微机械加工的桥式光学滤波器,当外加电压0→50V,连续可调谐范围达90nm;采用全平面工艺研制的F-P腔TO滤波器,当外加电流0→57mA时,连续可调谐范围达23nm,FWHM<0.5nm.在SOI Si基片上研制的M—ZTO波导光开关,开关时间<30μs,功耗~100mW.开关消光比-13dB和-10dB,1×4MMI多路分束器输出光场的不均衡性<0.36dB,总插入损耗6.9dB.用背向对接的MMI构成的M-Z干涉仪实现了光强的可变调最大衰减量26dB,响应时间100μs,插入损耗4.8~7dB.
刊名: 南京大学学报. 自然科学版
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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王启明.用于光网络通信的Si基光子集成器件的研究,南京大学学报. 自然科学版,2005,41(1):23-30
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