SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)
用于光网络通信的Si基光子集成器件的研究
王启明
2005
Source Publication南京大学学报. 自然科学版
Volume41Issue:1Pages:23-30
Abstract报导了可用于光网络系统终端OADM和OXC的Si基长波长量子阱窄带响应光电接收器,MOEMS和F-P TO宽频域光学滤波器,M—Z型TO光开关和MMI多路分束器以及可变光强衰减器.用应变层SiGe/Si MQW研制的RCE光电接收器响应谱半宽FWHM<6mm,外量子效率η>4.2%;采用表面微机械加工的桥式光学滤波器,当外加电压0→50V,连续可调谐范围达90nm;采用全平面工艺研制的F-P腔TO滤波器,当外加电流0→57mA时,连续可调谐范围达23nm,FWHM<0.5nm.在SOI Si基片上研制的M—ZTO波导光开关,开关时间<30μs,功耗~100mW.开关消光比-13dB和-10dB,1×4MMI多路分束器输出光场的不均衡性<0.36dB,总插入损耗6.9dB.用背向对接的MMI构成的M-Z干涉仪实现了光强的可变调最大衰减量26dB,响应时间100μs,插入损耗4.8~7dB.
metadata_83中国科学院半导体研究所
Subject Area光电子学
Funding Organization国家重大基础研究规划(973)项目,国家高技术发展计划,国家基金委重大基础研究计划项目
Indexed ByCSCD
Language中文
CSCD IDCSCD:2029345
Date Available2010-11-23
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Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/17031
Collection中国科学院半导体研究所(2009年前)
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GB/T 7714
王启明. 用于光网络通信的Si基光子集成器件的研究[J]. 南京大学学报. 自然科学版,2005,41(1):23-30.
APA 王启明.(2005).用于光网络通信的Si基光子集成器件的研究.南京大学学报. 自然科学版,41(1),23-30.
MLA 王启明."用于光网络通信的Si基光子集成器件的研究".南京大学学报. 自然科学版 41.1(2005):23-30.
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