SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)
溶胶-凝胶工艺制备SrTiO3纳米薄膜的研究
刘超; 李建平; 曾一平
2005
Source Publication半导体技术
Volume30Issue:5Pages:18-21
Abstract采用溶胶-凝胶方法,以醋酸锶、钛酸四丁酯为前驱体,乙酰丙酮为螯合剂,乙二醇甲醚为溶剂,乙酸为助溶剂和催化剂制备溶胶,用旋涂法在Si(100)衬底上制备出了具有典型钙钛矿型结构的SrTiO3纳米薄膜.用XRD、AFM、SEM和椭圆偏光仪等手段分析了薄膜的性能,结果显示薄膜的表面均匀、无裂纹、厚度20~30nm,折射率1.75~1.85,晶粒度35~60nm,表面平均粗糙度RMS为3.4~3.8 nm,晶粒形貌呈类圆锥形态.
metadata_83中国科学院半导体所材料中心
Subject Area半导体材料
Funding Organization国家自然科学基金资助项目
Indexed ByCSCD
Language中文
CSCD IDCSCD:2038755
Date Available2010-11-23
Citation statistics
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/17015
Collection中国科学院半导体研究所(2009年前)
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GB/T 7714
刘超,李建平,曾一平. 溶胶-凝胶工艺制备SrTiO3纳米薄膜的研究[J]. 半导体技术,2005,30(5):18-21.
APA 刘超,李建平,&曾一平.(2005).溶胶-凝胶工艺制备SrTiO3纳米薄膜的研究.半导体技术,30(5),18-21.
MLA 刘超,et al."溶胶-凝胶工艺制备SrTiO3纳米薄膜的研究".半导体技术 30.5(2005):18-21.
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