Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
| 溶胶-凝胶工艺制备SrTiO3纳米薄膜的研究 | |
刘超 ; 李建平; 曾一平
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| 2005 | |
| Source Publication | 半导体技术
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| Volume | 30Issue:5Pages:18-21 |
| Abstract | 采用溶胶-凝胶方法,以醋酸锶、钛酸四丁酯为前驱体,乙酰丙酮为螯合剂,乙二醇甲醚为溶剂,乙酸为助溶剂和催化剂制备溶胶,用旋涂法在Si(100)衬底上制备出了具有典型钙钛矿型结构的SrTiO3纳米薄膜.用XRD、AFM、SEM和椭圆偏光仪等手段分析了薄膜的性能,结果显示薄膜的表面均匀、无裂纹、厚度20～30nm,折射率1.75～1.85,晶粒度35～60nm,表面平均粗糙度RMS为3.4～3.8 nm,晶粒形貌呈类圆锥形态. |
| metadata_83 | 中国科学院半导体所材料中心 |
| Subject Area | 半导体材料 |
| Funding Organization | 国家自然科学基金资助项目 |
| Indexed By | CSCD |
| Language | 中文 |
| CSCD ID | CSCD:2038755 |
| Date Available | 2010-11-23 |
| Citation statistics | |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/17015 |
| Collection | 中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 刘超,李建平,曾一平. 溶胶-凝胶工艺制备SrTiO3纳米薄膜的研究[J]. 半导体技术,2005,30(5):18-21. |
| APA | 刘超,李建平,&曾一平.(2005).溶胶-凝胶工艺制备SrTiO3纳米薄膜的研究.半导体技术,30(5),18-21. |
| MLA | 刘超,et al."溶胶-凝胶工艺制备SrTiO3纳米薄膜的研究".半导体技术 30.5(2005):18-21. |
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