SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)
MS/RF CMOS工艺兼容的光电探测器
黄家乐; 毛陆虹; 陈弘达; 高鹏; 刘金彬; 雷晓荃
2005
Source Publication半导体学报
Volume26Issue:10Pages:1995-2000
Abstract为实现光纤通信系统中的单片光电集成,采用工业标准工艺设计了硅基光电探测器,讨论了光电探测器的机理,提出了五种新的探测器结构,并采用TSMC0.18μmMS/RF CMOS工艺进行了流片.利用半导体测试仪对芯片进行了测试,包括探测器的暗电流、响应度和结电容,并分析了深n阱、浅沟槽隔离等工艺步骤对探测器参数的影响.结果表明,利用标准MS/RF CMOS工艺实现的光电探测器具有良好的特性。
metadata_83天津大学电子与信息工程学院;中国科学院半导体研究所
Subject Area光电子学
Funding Organization国家高技术研究发展计划,国家自然科学基金
Indexed ByCSCD
Language中文
CSCD IDCSCD:2162934
Date Available2010-11-23
Citation statistics
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16869
Collection中国科学院半导体研究所(2009年前)
Recommended Citation
GB/T 7714
黄家乐,毛陆虹,陈弘达,等. MS/RF CMOS工艺兼容的光电探测器[J]. 半导体学报,2005,26(10):1995-2000.
APA 黄家乐,毛陆虹,陈弘达,高鹏,刘金彬,&雷晓荃.(2005).MS/RF CMOS工艺兼容的光电探测器.半导体学报,26(10),1995-2000.
MLA 黄家乐,et al."MS/RF CMOS工艺兼容的光电探测器".半导体学报 26.10(2005):1995-2000.
Files in This Item:
File Name/Size DocType Version Access License
4399.pdf(472KB) 限制开放--Application Full Text
Related Services
Recommend this item
Bookmark
Usage statistics
Export to Endnote
Google Scholar
Similar articles in Google Scholar
[黄家乐]'s Articles
[毛陆虹]'s Articles
[陈弘达]'s Articles
Baidu academic
Similar articles in Baidu academic
[黄家乐]'s Articles
[毛陆虹]'s Articles
[陈弘达]'s Articles
Bing Scholar
Similar articles in Bing Scholar
[黄家乐]'s Articles
[毛陆虹]'s Articles
[陈弘达]'s Articles
Terms of Use
No data!
Social Bookmark/Share
All comments (0)
No comment.
 

Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.