Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
| MS／RF CMOS工艺兼容的光电探测器 | |
| 黄家乐; 毛陆虹; 陈弘达; 高鹏; 刘金彬; 雷晓荃 | |
| 2005 | |
| Source Publication | 半导体学报
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| Volume | 26Issue:10Pages:1995-2000 |
| Abstract | 为实现光纤通信系统中的单片光电集成，采用工业标准工艺设计了硅基光电探测器，讨论了光电探测器的机理，提出了五种新的探测器结构，并采用TSMC0．18μmMS／RF CMOS工艺进行了流片．利用半导体测试仪对芯片进行了测试，包括探测器的暗电流、响应度和结电容，并分析了深n阱、浅沟槽隔离等工艺步骤对探测器参数的影响．结果表明，利用标准MS／RF CMOS工艺实现的光电探测器具有良好的特性。 |
| metadata_83 | 天津大学电子与信息工程学院;中国科学院半导体研究所 |
| Subject Area | 光电子学 |
| Funding Organization | 国家高技术研究发展计划,国家自然科学基金 |
| Indexed By | CSCD |
| Language | 中文 |
| CSCD ID | CSCD:2162934 |
| Date Available | 2010-11-23 |
| Citation statistics | |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16869 |
| Collection | 中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 黄家乐,毛陆虹,陈弘达,等. MS／RF CMOS工艺兼容的光电探测器[J]. 半导体学报,2005,26(10):1995-2000. |
| APA | 黄家乐,毛陆虹,陈弘达,高鹏,刘金彬,&雷晓荃.(2005).MS／RF CMOS工艺兼容的光电探测器.半导体学报,26(10),1995-2000. |
| MLA | 黄家乐,et al."MS／RF CMOS工艺兼容的光电探测器".半导体学报 26.10(2005):1995-2000. |
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