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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: Low-Microwave Loss Coplanar Waveguides Fabricated on High-Resistivity Silicon Substrate
作者: Yang Hua;  Zhu Hongliang;  Xie Hongyun;  Zhao Lingjuan;  Zhou Fan;  Wang Wei
发表日期: 2006
摘要: Three kinds of coplanar waveguides (CPWs) are designed and fabricated on different silicon substrates---common low-resistivity silicon substrate (LRS), LRS with a 3μm-thick silicon oxide interlayer, and high-resistivity silicon (HRS) substrate. The results show that the microwave loss of a CPW on LRS is too high to be used, but it can be greatly reduced by adding a thick interlayer of silicon oxide between the CPW transmission lines and the LRS.A CPW directly on HRS shows a loss lower than 2dB/cm in the range of 0-26GHz and the process is simple,so HRS is a more suitable CPW substrate.
刊名: 半导体学报
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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Yang Hua;Zhu Hongliang;Xie Hongyun;Zhao Lingjuan;Zhou Fan;Wang Wei.Low-Microwave Loss Coplanar Waveguides Fabricated on High-Resistivity Silicon Substrate,半导体学报,2006,27(1):1-4
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