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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: 带有Bragg反射镜的谐振腔增强型Si光电探测器
作者: 李成;  赖虹凯;  陈松岩;  王启明
发表日期: 2006
摘要: 采用电子束蒸发和键合技术,制作了具有高反射率的、表面为薄层单晶Si的分布Bragg反射器。用标准光刻工艺在单晶Si薄层上制作出窄带谐振腔增强型(RCE)金属一半导体一金属(MSM)光电探测器,响应峰值波长分别在836、900、965和1030nm处,其中在900nm处峰值半高宽为18nm。该器件具有波长选择特性,可有效抑制相邻频道间的串扰,而且容易制成集成面阵。
刊名: 光电子·激光
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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李成;赖虹凯;陈松岩;王启明.带有Bragg反射镜的谐振腔增强型Si光电探测器,光电子·激光,2006,17(1):62-64
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