微纳加工技术在光电子领域的应用

SEMI OpenIR > 中国科学院半导体研究所（2009年前）

	微纳加工技术在光电子领域的应用
	韩伟华; 樊中朝; 杨富华
	2006
Source Publication	物理
Volume	35 Issue:1 Pages:51-55
Abstract	纳米光电子器件正在成为下一代光电子器件的核心。文章介绍了电子束光刻和电感耦合等离子体刻蚀为代表的徽纳加工技术在光电子学器件中的应用。主要包括量子点激光器、量子点THz探测器和光子晶体器件。
metadata_83	中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心
Subject Area	微电子学
Funding Organization	国家自然科学基金资助项目
Indexed By	CSCD
Language	中文
CSCD ID	CSCD:2241374
Date Available	2010-11-23
Citation statistics
Document Type	期刊论文
Identifier	http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16745
Collection	中国科学院半导体研究所（2009年前）
Recommended Citation GB/T 7714	韩伟华,樊中朝,杨富华. 微纳加工技术在光电子领域的应用[J]. 物理,2006,35(1):51-55.
APA	韩伟华,樊中朝,&杨富华.(2006).微纳加工技术在光电子领域的应用.物理,35(1),51-55.
MLA	韩伟华,et al."微纳加工技术在光电子领域的应用".物理 35.1(2006):51-55.

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