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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: SOI基可变光学衰减器的回波损耗研究
作者: 陈鹏;  方青;  李芳;  刘育梁
发表日期: 2006
摘要: 采用倾斜3.4°抛光SOI波导端面和在波导端面镀TiO2减反膜的方法,使SOI基动态可调光学衰减器的插入损耗减小了1.6 dB,而且回波损耗由8 dB提高至57 dB,解决了SOI波导器件回波严重这一实用化过程中的关键问题.利用上述方法研制出了完整封装的SOI基可变光学衰减器样品.
刊名: 半导体光电
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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陈鹏;方青;李芳;刘育梁.SOI基可变光学衰减器的回波损耗研究,半导体光电,2006,27(4):370-372
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