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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: Fabrication of a Silicon-Based Microprobe for Neural Interface Applications
作者: Sui Xiaohong;  Zhang Ruoxin;  Pei Weihua;  Lu Lin;  Chen Hongda
发表日期: 2006
摘要: A two-dimensional (2D) multi-channel silicon-based microelectrode array is developed for recording neural signals. Three photolithographic masks are utilized in the fabrication process. SEM images show that the microprobe is 1. 2mm long,100μm wide,and 30μm thick, with recording sites spaced 200μm apart for good signal isolation. For the individual recording sites, the characteristics of impedance versus frequency are shown by in vitro testing. The impedance declines from 14MΩ to 1.9kv as the frequency changes from 0 to 10MHz. A compatible PCB (print circuit board) aids in the less troublesome implantation and stabilization of the microprobe.
刊名: 半导体学报
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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Sui Xiaohong;Zhang Ruoxin;Pei Weihua;Lu Lin;Chen Hongda.Fabrication of a Silicon-Based Microprobe for Neural Interface Applications,半导体学报,2006,27(10):1703-1706
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