全硅片上光互连用波导

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题名:	全硅片上光互连用波导
作者:	代晓光; 牛萍娟; 张宇; 陈弘达; 毛陆虹; 郭维廉
发表日期:	2006
摘要:	较详细地分析了用于全硅片上光互连所用光波导（如多晶Si／SiO2、Si／SiO2、Si3N4/SiO2）需满足的基本条件、制作方法以及损耗机制，总结了目前的研究进展。
刊名:	激光与光电子学进展
专题:	中国科学院半导体研究所（2009年前）_期刊论文

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代晓光;牛萍娟;张宇;陈弘达;毛陆虹;郭维廉.全硅片上光互连用波导,激光与光电子学进展,2006,43(8):27-31

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