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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: 全硅片上光互连用波导
作者: 代晓光;  牛萍娟;  张宇;  陈弘达;  毛陆虹;  郭维廉
发表日期: 2006
摘要: 较详细地分析了用于全硅片上光互连所用光波导(如多晶Si/SiO2、Si/SiO2、Si3N4/SiO2)需满足的基本条件、制作方法以及损耗机制,总结了目前的研究进展。
刊名: 激光与光电子学进展
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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推荐引用方式:
代晓光;牛萍娟;张宇;陈弘达;毛陆虹;郭维廉.全硅片上光互连用波导,激光与光电子学进展,2006,43(8):27-31
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