SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)
偏振差分反射光谱研究半导体材料的平面内光学各向异性
赵雷; 陈涌海; 左玉华; 王海宁; 时文华
2006
Source Publication光谱学与光谱分析
Volume26Issue:7Pages:1185-1189
Abstract介绍了偏振差分反射光谱的原理,并结合半导体材料平面内光学各向异性的来源,总结了偏振差分反射光谱作为一种重要的表面、界面分析技术在半导体材料研究中的应用,并分析指出其在Si基材料电光改性研究中将会起到重要作用。
metadata_83中国科学院半导体研究所;中国科学院电子学研究所
Subject Area光电子学
Funding Organization国家自然科学基金,中国科学院专项计划项目
Indexed ByCSCD
Language中文
CSCD IDCSCD:2484053
Date Available2010-11-23
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Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16561
Collection中国科学院半导体研究所(2009年前)
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GB/T 7714
赵雷,陈涌海,左玉华,等. 偏振差分反射光谱研究半导体材料的平面内光学各向异性[J]. 光谱学与光谱分析,2006,26(7):1185-1189.
APA 赵雷,陈涌海,左玉华,王海宁,&时文华.(2006).偏振差分反射光谱研究半导体材料的平面内光学各向异性.光谱学与光谱分析,26(7),1185-1189.
MLA 赵雷,et al."偏振差分反射光谱研究半导体材料的平面内光学各向异性".光谱学与光谱分析 26.7(2006):1185-1189.
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