SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)
用于平面光波导的控温模块的设计与制作
吴黎; 韩培德; 窦金峰; 叶志成; 全宇军; 陆晓东
2006
Source Publication光电子·激光
Volume17Issue:6Pages:654-657
Abstract研制了一种用于平面光波导(PLC)的控温模块。该模块采用比例微分积分(PID)控制回路控温,针对PLC控温特点,采用了优化模块的导热与散热,调整控温电路中的PID参数并采用H桥电流输出等方案对整个控温模块进行了优化设计。该模块体积小,长宽高分别为7cm×6cm×4cm;控温面积为3cm×3cm,适用于大尺寸的PLC芯片;控温范围广,从0~70℃;控温速率快、精度高,能将温度稳定到土0.15℃内。
metadata_83中国科学院半导体研究所
Subject Area微电子学
Funding Organization国家“863”计划资助项目,国家自然科学基金资助项目
Indexed ByCSCD
Language中文
CSCD IDCSCD:2484282
Date Available2010-11-23
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Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16559
Collection中国科学院半导体研究所(2009年前)
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GB/T 7714
吴黎,韩培德,窦金峰,等. 用于平面光波导的控温模块的设计与制作[J]. 光电子·激光,2006,17(6):654-657.
APA 吴黎,韩培德,窦金峰,叶志成,全宇军,&陆晓东.(2006).用于平面光波导的控温模块的设计与制作.光电子·激光,17(6),654-657.
MLA 吴黎,et al."用于平面光波导的控温模块的设计与制作".光电子·激光 17.6(2006):654-657.
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