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用于神经电信号记录的多通道微探针 | |
隋晓红; 张若昕; 裴为华![]() | |
2006 | |
Source Publication | 传感技术学报
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Volume | 19Issue:5APages:1419-1421 |
Abstract | 以体硅为衬底,采用微机械加工技术(MEMS)制作了七通道的可植入到脑皮层的微探针,用于记录神经电信号.从生物相容性、减小植入损伤、工艺制作难度等方面考虑,制作了以二氧化硅/硅(SiO_2/Si)为主体的微探针,并详述了其具体制作工艺流程.扫描电镜(SEM)照片显示微探针针长3 mm、针宽100 μm、针厚约为20μm,各个记录点直径10μm、间距120μm,实现了各通道之间良好的信号隔离.微探针距离针尖1 mm范围内的针宽以一定弧度由100μm逐渐变窄,同时针尖锥角为6°,此种结构有利于减小植入时对脑组织的损伤.通过体外测试得到,当频率由10 kHz增加到10 MHz时,微电极各个通道阻抗由150.5 kΩ降低到6.0 kΩ. |
metadata_83 | 中国科学院半导体研究所 |
Subject Area | 光电子学 |
Funding Organization | 国家高技术研究发展计划资助,国家自然科学基金资金 |
Indexed By | CSCD |
Language | 中文 |
CSCD ID | CSCD:2540244 |
Date Available | 2010-11-23 |
Citation statistics | |
Document Type | 期刊论文 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16541 |
Collection | 中国科学院半导体研究所(2009年前) |
Recommended Citation GB/T 7714 | 隋晓红,张若昕,裴为华,等. 用于神经电信号记录的多通道微探针[J]. 传感技术学报,2006,19(5A):1419-1421. |
APA | 隋晓红,张若昕,裴为华,鲁琳,&陈弘达.(2006).用于神经电信号记录的多通道微探针.传感技术学报,19(5A),1419-1421. |
MLA | 隋晓红,et al."用于神经电信号记录的多通道微探针".传感技术学报 19.5A(2006):1419-1421. |
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