SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)
用于神经电信号记录的多通道微探针
隋晓红; 张若昕; 裴为华; 鲁琳; 陈弘达
2006
Source Publication传感技术学报
Volume19Issue:5APages:1419-1421
Abstract以体硅为衬底,采用微机械加工技术(MEMS)制作了七通道的可植入到脑皮层的微探针,用于记录神经电信号.从生物相容性、减小植入损伤、工艺制作难度等方面考虑,制作了以二氧化硅/硅(SiO_2/Si)为主体的微探针,并详述了其具体制作工艺流程.扫描电镜(SEM)照片显示微探针针长3 mm、针宽100 μm、针厚约为20μm,各个记录点直径10μm、间距120μm,实现了各通道之间良好的信号隔离.微探针距离针尖1 mm范围内的针宽以一定弧度由100μm逐渐变窄,同时针尖锥角为6°,此种结构有利于减小植入时对脑组织的损伤.通过体外测试得到,当频率由10 kHz增加到10 MHz时,微电极各个通道阻抗由150.5 kΩ降低到6.0 kΩ.
metadata_83中国科学院半导体研究所
Subject Area光电子学
Funding Organization国家高技术研究发展计划资助,国家自然科学基金资金
Indexed ByCSCD
Language中文
CSCD IDCSCD:2540244
Date Available2010-11-23
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Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16541
Collection中国科学院半导体研究所(2009年前)
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GB/T 7714
隋晓红,张若昕,裴为华,等. 用于神经电信号记录的多通道微探针[J]. 传感技术学报,2006,19(5A):1419-1421.
APA 隋晓红,张若昕,裴为华,鲁琳,&陈弘达.(2006).用于神经电信号记录的多通道微探针.传感技术学报,19(5A),1419-1421.
MLA 隋晓红,et al."用于神经电信号记录的多通道微探针".传感技术学报 19.5A(2006):1419-1421.
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