用于神经电信号记录的多通道微探针

SEMI OpenIR > 中国科学院半导体研究所（2009年前）

	用于神经电信号记录的多通道微探针
	隋晓红; 张若昕; 裴为华; 鲁琳; 陈弘达
	2006
Source Publication	传感技术学报
Volume	19 Issue:5A Pages:1419-1421
Abstract	以体硅为衬底，采用微机械加工技术(MEMS)制作了七通道的可植入到脑皮层的微探针，用于记录神经电信号．从生物相容性、减小植入损伤、工艺制作难度等方面考虑，制作了以二氧化硅／硅(SiO_2／Si)为主体的微探针，并详述了其具体制作工艺流程．扫描电镜(SEM)照片显示微探针针长3 mm、针宽100 μm、针厚约为20μm，各个记录点直径10μm、间距120μm，实现了各通道之间良好的信号隔离．微探针距离针尖1 mm范围内的针宽以一定弧度由100μm逐渐变窄，同时针尖锥角为6°，此种结构有利于减小植入时对脑组织的损伤．通过体外测试得到，当频率由10 kHz增加到10 MHz时，微电极各个通道阻抗由150.5 kΩ降低到6.0 kΩ．
metadata_83	中国科学院半导体研究所
Subject Area	光电子学
Funding Organization	国家高技术研究发展计划资助,国家自然科学基金资金
Indexed By	CSCD
Language	中文
CSCD ID	CSCD:2540244
Date Available	2010-11-23
Citation statistics
Document Type	期刊论文
Identifier	http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16541
Collection	中国科学院半导体研究所（2009年前）
Recommended Citation GB/T 7714	隋晓红,张若昕,裴为华,等. 用于神经电信号记录的多通道微探针[J]. 传感技术学报,2006,19(5A):1419-1421.
APA	隋晓红,张若昕,裴为华,鲁琳,&陈弘达.(2006).用于神经电信号记录的多通道微探针.传感技术学报,19(5A),1419-1421.
MLA	隋晓红,et al."用于神经电信号记录的多通道微探针".传感技术学报 19.5A(2006):1419-1421.

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