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垂直腔面发射激光器的TO封装工艺操作误差分析 | |
刘超; 张雅丽; 徐桂芝; 张韬; 侯广辉; 祝宁华 | |
2006 | |
Source Publication | 半导体学报
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Volume | 27Issue:8Pages:1480-1483 |
Abstract | 采用FRESNEL光学软件和MATLAB编程,详细分析了垂直腔面发射激光器的TO封装工艺操作误差对耦合效率的影响.发现在芯片横向偏移、芯片倾斜和管帽倾斜这三种操作误差中,管帽倾斜对封装组件的耦合效率影响最大。 |
metadata_83 | 中国科学院半导体研究所 |
Subject Area | 光电子学 |
Funding Organization | 国家自然科学基金国际合作重大项目资助项目 |
Indexed By | CSCD |
Language | 中文 |
CSCD ID | CSCD:2551417 |
Date Available | 2010-11-23 |
Citation statistics | |
Document Type | 期刊论文 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16523 |
Collection | 中国科学院半导体研究所(2009年前) |
Recommended Citation GB/T 7714 | 刘超,张雅丽,徐桂芝,等. 垂直腔面发射激光器的TO封装工艺操作误差分析[J]. 半导体学报,2006,27(8):1480-1483. |
APA | 刘超,张雅丽,徐桂芝,张韬,侯广辉,&祝宁华.(2006).垂直腔面发射激光器的TO封装工艺操作误差分析.半导体学报,27(8),1480-1483. |
MLA | 刘超,et al."垂直腔面发射激光器的TO封装工艺操作误差分析".半导体学报 27.8(2006):1480-1483. |
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