SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)
垂直腔面发射激光器的TO封装工艺操作误差分析
刘超; 张雅丽; 徐桂芝; 张韬; 侯广辉; 祝宁华
2006
Source Publication半导体学报
Volume27Issue:8Pages:1480-1483
Abstract采用FRESNEL光学软件和MATLAB编程,详细分析了垂直腔面发射激光器的TO封装工艺操作误差对耦合效率的影响.发现在芯片横向偏移、芯片倾斜和管帽倾斜这三种操作误差中,管帽倾斜对封装组件的耦合效率影响最大。
metadata_83中国科学院半导体研究所
Subject Area光电子学
Funding Organization国家自然科学基金国际合作重大项目资助项目
Indexed ByCSCD
Language中文
CSCD IDCSCD:2551417
Date Available2010-11-23
Citation statistics
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16523
Collection中国科学院半导体研究所(2009年前)
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GB/T 7714
刘超,张雅丽,徐桂芝,等. 垂直腔面发射激光器的TO封装工艺操作误差分析[J]. 半导体学报,2006,27(8):1480-1483.
APA 刘超,张雅丽,徐桂芝,张韬,侯广辉,&祝宁华.(2006).垂直腔面发射激光器的TO封装工艺操作误差分析.半导体学报,27(8),1480-1483.
MLA 刘超,et al."垂直腔面发射激光器的TO封装工艺操作误差分析".半导体学报 27.8(2006):1480-1483.
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