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| 神经记录用硅基多通道微电极探针的设计与制造 | |
张若昕; 隋晓红; 裴为华 ; 陈弘达
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| 2006 | |
| Source Publication | 传感技术学报
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| Volume | 19Issue:5APages:1404-1406 |
| Abstract | 为了从中枢神经系统记录电信号，半导体加工技术已经被用于微电极探针的制造．介绍了一种硅基探针的设计和制造工艺流程．我们已经制造出15 μm厚，3 mn长,100μm宽的记录用探针，每根探针含有7个记录点，间隔120 μm.在制造过程中使用微机械系统(MEMS)工艺中常用的硅表面微加工工艺:等离子增强化学气相淀积(PECVD)，感应耦合等离子刻蚀(ICP)以及硅的各向异性刻蚀等．测试结果给出了探针的强度和阻抗特性． |
| metadata_83 | 中国科学院半导体研究所 |
| Subject Area | 光电子学 |
| Funding Organization | 国家高科技研究发展计划资助,国家自然科学基金资助 |
| Indexed By | CSCD |
| Language | 中文 |
| CSCD ID | CSCD:2556305 |
| Date Available | 2010-11-23 |
| Citation statistics | |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16495 |
| Collection | 中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 张若昕,隋晓红,裴为华,等. 神经记录用硅基多通道微电极探针的设计与制造[J]. 传感技术学报,2006,19(5A):1404-1406. |
| APA | 张若昕,隋晓红,裴为华,&陈弘达.(2006).神经记录用硅基多通道微电极探针的设计与制造.传感技术学报,19(5A),1404-1406. |
| MLA | 张若昕,et al."神经记录用硅基多通道微电极探针的设计与制造".传感技术学报 19.5A(2006):1404-1406. |
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