SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)
神经记录用硅基多通道微电极探针的设计与制造
张若昕; 隋晓红; 裴为华; 陈弘达
2006
Source Publication传感技术学报
Volume19Issue:5APages:1404-1406
Abstract为了从中枢神经系统记录电信号,半导体加工技术已经被用于微电极探针的制造.介绍了一种硅基探针的设计和制造工艺流程.我们已经制造出15 μm厚,3 mn长,100μm宽的记录用探针,每根探针含有7个记录点,间隔120 μm.在制造过程中使用微机械系统(MEMS)工艺中常用的硅表面微加工工艺:等离子增强化学气相淀积(PECVD),感应耦合等离子刻蚀(ICP)以及硅的各向异性刻蚀等.测试结果给出了探针的强度和阻抗特性.
metadata_83中国科学院半导体研究所
Subject Area光电子学
Funding Organization国家高科技研究发展计划资助,国家自然科学基金资助
Indexed ByCSCD
Language中文
CSCD IDCSCD:2556305
Date Available2010-11-23
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Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16495
Collection中国科学院半导体研究所(2009年前)
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GB/T 7714
张若昕,隋晓红,裴为华,等. 神经记录用硅基多通道微电极探针的设计与制造[J]. 传感技术学报,2006,19(5A):1404-1406.
APA 张若昕,隋晓红,裴为华,&陈弘达.(2006).神经记录用硅基多通道微电极探针的设计与制造.传感技术学报,19(5A),1404-1406.
MLA 张若昕,et al."神经记录用硅基多通道微电极探针的设计与制造".传感技术学报 19.5A(2006):1404-1406.
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