Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
| MS/RF CMOS工艺兼容的光电探测器模拟与测试 | |
| 雷晓荃; 毛陆虹; 陈弘达; 黄家乐 | |
| 2006 | |
| Source Publication | 光电子·激光
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| Volume | 17Issue:12Pages:1413-1417 |
| Abstract | 设计了一种新型的与MS/RF CMOS工艺全兼容、带深n阱(DNW)、浅沟槽隔离(STI)的双光电探测器,分析了其工作机理,用器件模拟软件ATLAS对其暗电流、响应电流、光调制频率响应和波长响应进行了模拟.采用TSMC 0.18 μm MS/RF CMOS工艺进行了流片,对芯片进行了暗电流和响应度的测试.模拟和测试结果均表明,该探测器与常规双光电探测器相比,具有较低的暗电流和较高的响应度. |
| metadata_83 | 天津大学电子信息工程学院;中国科学院半导体研究所 |
| Subject Area | 光电子学 |
| Funding Organization | 国家"863"计划资助项目,国家自然科学基金 |
| Indexed By | CSCD |
| Language | 中文 |
| CSCD ID | CSCD:2633059 |
| Date Available | 2010-11-23 |
| Citation statistics | |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16443 |
| Collection | 中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 雷晓荃,毛陆虹,陈弘达,等. MS/RF CMOS工艺兼容的光电探测器模拟与测试[J]. 光电子·激光,2006,17(12):1413-1417. |
| APA | 雷晓荃,毛陆虹,陈弘达,&黄家乐.(2006).MS/RF CMOS工艺兼容的光电探测器模拟与测试.光电子·激光,17(12),1413-1417. |
| MLA | 雷晓荃,et al."MS/RF CMOS工艺兼容的光电探测器模拟与测试".光电子·激光 17.12(2006):1413-1417. |
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