SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)
与标准集成电路工艺兼容的硅基光学器件研究
刘海军; 高鹏; 陈弘达; 顾明; 许奇明; 刘金彬; 黄北举
2006
Source Publication高技术通讯
Volume16Issue:9Pages:985-989
Abstract着重介绍了与标准集成电路工艺兼容的硅基光学器件的最新研究进展,包括硅基光发射器、硅基光波导和调制器件、硅基光电探测器和接收机以及硅基光电子集成回路的工作原理、制作工艺和集成技术.与标准集成电路工艺兼容的硅基光电子集成回路能有效地解决电互连芯片内部串扰、带宽和能耗等问题,并能够充分利用现有成熟的集成电路工艺,实现大规模生产,具有广阔的实用前景.
metadata_83中国科学院半导体研究所
Subject Area光电子学
Funding Organization863计划资助,国家自然科学基金资助项目
Indexed ByCSCD
Language中文
CSCD IDCSCD:2641633
Date Available2010-11-23
Citation statistics
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16419
Collection中国科学院半导体研究所(2009年前)
Recommended Citation
GB/T 7714
刘海军,高鹏,陈弘达,等. 与标准集成电路工艺兼容的硅基光学器件研究[J]. 高技术通讯,2006,16(9):985-989.
APA 刘海军.,高鹏.,陈弘达.,顾明.,许奇明.,...&黄北举.(2006).与标准集成电路工艺兼容的硅基光学器件研究.高技术通讯,16(9),985-989.
MLA 刘海军,et al."与标准集成电路工艺兼容的硅基光学器件研究".高技术通讯 16.9(2006):985-989.
Files in This Item:
File Name/Size DocType Version Access License
4130.pdf(534KB) 限制开放--Application Full Text
Related Services
Recommend this item
Bookmark
Usage statistics
Export to Endnote
Google Scholar
Similar articles in Google Scholar
[刘海军]'s Articles
[高鹏]'s Articles
[陈弘达]'s Articles
Baidu academic
Similar articles in Baidu academic
[刘海军]'s Articles
[高鹏]'s Articles
[陈弘达]'s Articles
Bing Scholar
Similar articles in Bing Scholar
[刘海军]'s Articles
[高鹏]'s Articles
[陈弘达]'s Articles
Terms of Use
No data!
Social Bookmark/Share
All comments (0)
No comment.
 

Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.