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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: 低能氦离子注入引入的量子阱混杂带隙波长蓝移
作者: 周静涛;  朱洪亮;  程远兵;  王宝军;  王圩
发表日期: 2007
摘要: 提出了采用低能氦离子注入多量子阱(MQW)材料和合适的快速退火条件,实现了MQW带隙波长的蓝移.用这种材料制作了FP腔激光器,与未注入器件相比,实现了37nm的激射波长蓝移.
刊名: 半导体学报
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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推荐引用方式:
周静涛;朱洪亮;程远兵;王宝军;王圩.低能氦离子注入引入的量子阱混杂带隙波长蓝移,半导体学报,2007,28(1):47-51
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