SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)
一种长波长MOEMS可调谐滤波器的结构设计和分析
吴旭明; 王小东; 何国荣; 王青; 曹玉莲; 谭满清
2007
Source Publication半导体学报
Volume28Issue:1Pages:117-121
Abstract提出了一种微光机电系统(MoEMS)可调谐滤波器结构,该结构采用GaAs/AlGaAs作为下分布布拉格反射镜(DBR),GaAs和SiO_2/Si介质膜作为上DBR,空气作为腔.按照波分复用系统的性能要求对MOEMS可调谐滤波器各项参数,如带宽、峰值透射率、挠度和调谐速度等进行了分析和设计.研究了挠度和调谐速度与梁厚度、宽度、长度等参数的关系.结果表明挠度与长度成正方向变化,同梁厚度、宽度成反方向变化,而调谐速度与各参数的关系恰好相反.
metadata_83中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心;中国科学院半导体研究所
Subject Area半导体器件
Indexed ByCSCD
Language中文
CSCD IDCSCD:2741743
Date Available2010-11-23
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Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16375
Collection中国科学院半导体研究所(2009年前)
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GB/T 7714
吴旭明,王小东,何国荣,等. 一种长波长MOEMS可调谐滤波器的结构设计和分析[J]. 半导体学报,2007,28(1):117-121.
APA 吴旭明,王小东,何国荣,王青,曹玉莲,&谭满清.(2007).一种长波长MOEMS可调谐滤波器的结构设计和分析.半导体学报,28(1),117-121.
MLA 吴旭明,et al."一种长波长MOEMS可调谐滤波器的结构设计和分析".半导体学报 28.1(2007):117-121.
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