SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)
聚焦离子束研制半导体材料光子晶体
许兴胜; 熊志刚; 金爱子; 陈弘达; 张道中
2007
Source Publication物理学报
Volume56Issue:2Pages:916-921
Abstract介绍了利用聚焦离子束设备在多种半导体材料上成功研制的近红外波段二维光子晶体,给出了相关微加工结果。发现微加工的尺寸和理论设计尺寸相吻合;测试了所加工的无源光子晶体光子带隙和有源光子晶体的发光谱.实验证明聚焦离子束可以研制二维光子晶体及相关光子晶体器件.
metadata_83中国科学院半导体研究所;中国科学院物理研究所
Subject Area光电子学
Funding Organization国家自然科学基金资助的课题
Indexed ByCSCD
Language中文
CSCD IDCSCD:2792176
Date Available2010-11-23
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Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16341
Collection中国科学院半导体研究所(2009年前)
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GB/T 7714
许兴胜,熊志刚,金爱子,等. 聚焦离子束研制半导体材料光子晶体[J]. 物理学报,2007,56(2):916-921.
APA 许兴胜,熊志刚,金爱子,陈弘达,&张道中.(2007).聚焦离子束研制半导体材料光子晶体.物理学报,56(2),916-921.
MLA 许兴胜,et al."聚焦离子束研制半导体材料光子晶体".物理学报 56.2(2007):916-921.
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