SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)
紫外光直写杂化溶胶-凝胶SiO_2光波导器件
王玥; 吴远大; 李建光; 安俊明; 王红杰; 尹小杰; 张家顺; 胡雄伟
2007
Source Publication半导体学报
Volume28Issue:7Pages:1130-1133
Abstract利用有机/无机杂化方法制备了光敏性溶胶-凝胶(sol-gel)SiO_2材料,在硅基片上旋涂成膜.研究了薄膜折射率和厚度随紫外曝光时间、后烘温度及时间等外界工艺条件的变化关系.利用紫外光直写技术,制作出1×2,1×4多模干涉(MMI)型分束器,并且观测到了分光效果较好的近场输出图像.
metadata_83中国科学院半导体研究所,光电子研究发展中心
Subject Area光电子学
Funding Organization国家自然科学基金资助项目
Indexed ByCSCD
Language中文
CSCD IDCSCD:2836020
Date Available2010-11-23
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Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16303
Collection中国科学院半导体研究所(2009年前)
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GB/T 7714
王玥,吴远大,李建光,等. 紫外光直写杂化溶胶-凝胶SiO_2光波导器件[J]. 半导体学报,2007,28(7):1130-1133.
APA 王玥.,吴远大.,李建光.,安俊明.,王红杰.,...&胡雄伟.(2007).紫外光直写杂化溶胶-凝胶SiO_2光波导器件.半导体学报,28(7),1130-1133.
MLA 王玥,et al."紫外光直写杂化溶胶-凝胶SiO_2光波导器件".半导体学报 28.7(2007):1130-1133.
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