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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: 160×128元多量子阱长波红外焦平面探测器件研制
作者: 种明;  苏艳梅;  张艳冰;  胡小燕;  马文全;  孙永伟;  陈良惠
发表日期: 2007
摘要: 报道了新研制出的160×128元GaAs/AlGaAs多量子阱长波红外焦平面器件.使用MBE的方法在半绝缘的GaAs衬底上生长器件结构;开发了用普通光刻技术和离子束刻蚀法制备2D光栅技术,以及探测器芯片与读出电路互联技术.在77 K时测试,器件的平均峰值探测率D~*_λ=1.28×10~(10) cmW~(-1)Hz~(1/2),峰值波长为λ_p=8.1μm,截止波长为λ_c=8.47μm.器件的非盲元率≥98.8%,不均匀性10%.
刊名: 红外与激光工程
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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种明;苏艳梅;张艳冰;胡小燕;马文全;孙永伟;陈良惠.160×128元多量子阱长波红外焦平面探测器件研制,红外与激光工程,2007,36(5):702-704
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