SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)
160×128元多量子阱长波红外焦平面探测器件研制
种明; 苏艳梅; 张艳冰; 胡小燕; 马文全; 孙永伟; 陈良惠
2007
Source Publication红外与激光工程
Volume36Issue:5Pages:702-704
Abstract报道了新研制出的160×128元GaAs/AlGaAs多量子阱长波红外焦平面器件.使用MBE的方法在半绝缘的GaAs衬底上生长器件结构;开发了用普通光刻技术和离子束刻蚀法制备2D光栅技术,以及探测器芯片与读出电路互联技术.在77 K时测试,器件的平均峰值探测率D~*_λ=1.28×10~(10) cmW~(-1)Hz~(1/2),峰值波长为λ_p=8.1μm,截止波长为λ_c=8.47μm.器件的非盲元率≥98.8%,不均匀性10%.
metadata_83中国科学院半导体研究所;华北光电技术研究所
Subject Area光电子学
Funding Organization国家863计划资助项目(2 2AA3131 )
Indexed ByCSCD
Language中文
CSCD IDCSCD:2935465
Date Available2010-11-23
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Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16213
Collection中国科学院半导体研究所(2009年前)
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GB/T 7714
种明,苏艳梅,张艳冰,等. 160×128元多量子阱长波红外焦平面探测器件研制[J]. 红外与激光工程,2007,36(5):702-704.
APA 种明.,苏艳梅.,张艳冰.,胡小燕.,马文全.,...&陈良惠.(2007).160×128元多量子阱长波红外焦平面探测器件研制.红外与激光工程,36(5),702-704.
MLA 种明,et al."160×128元多量子阱长波红外焦平面探测器件研制".红外与激光工程 36.5(2007):702-704.
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