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| 用纳米棒ZnO作模板生长无支撑的AlN纳米晶 | |
胡卫国; 魏鸿源 ; 焦春美; 康亭亭; 张日清; 刘祥林
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| 2007 | |
| Source Publication | 半导体学报
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| Volume | 28Issue:10Pages:1508-1512 |
| Abstract | 用金属有机物气相外延在纳米棒ZnO模板上沉积AlN薄膜.SEM测试表明该薄膜形成了一种倾倒纳米棒的表面.而GIXRD测试进一步证实它是纤锌矿结构的AlN,晶粒尺度约为12nm,接近于ZnO纳米棒的直径(30nm).这意味着纳米棒结构的ZnO能限制AlN的横向生长.此外,高温下用H_2刻蚀ZnO直接在生长中实现了外延层的剥离.最终得到了无支撑的AlN纳米晶,完整无破损的区域约为1cm×1cm.定义这个生长机制为"生长-刻蚀-合并"过程. |
| metadata_83 | 中国科学院半导体研究所 |
| Subject Area | 半导体材料 |
| Funding Organization | 国家自然科学基金资助项目(批准号:6 5 6 2) |
| Indexed By | CSCD |
| Language | 中文 |
| CSCD ID | CSCD:2937308 |
| Date Available | 2010-11-23 |
| Citation statistics | |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16207 |
| Collection | 中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 胡卫国,魏鸿源,焦春美,等. 用纳米棒ZnO作模板生长无支撑的AlN纳米晶[J]. 半导体学报,2007,28(10):1508-1512. |
| APA | 胡卫国,魏鸿源,焦春美,康亭亭,张日清,&刘祥林.(2007).用纳米棒ZnO作模板生长无支撑的AlN纳米晶.半导体学报,28(10),1508-1512. |
| MLA | 胡卫国,et al."用纳米棒ZnO作模板生长无支撑的AlN纳米晶".半导体学报 28.10(2007):1508-1512. |
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