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| 有机／无机杂化SiO_2／Si光波导薄膜的制备及表征 | |
王玥 ; 吴远大; 李建光; 王红杰; 胡雄伟
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| 2007 | |
| Source Publication | 半导体光电
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| Volume | 28Issue:4Pages:525-527 |
| Abstract | 采用有机／无机杂化溶胶-凝胶（sol-gel）法制备了SiO_2光波导薄膜材料。采用甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷（MAPTMS）作为反应先躯体，四丙氧基锆（ZPO）作为调节折射率的材料，正丙醇（n-propyl alcohol）为溶剂，利用旋涂方法在Si基片上成膜，采取低温长时间、高温短时间的热处理方式，制备出无龟裂薄膜。分别采用棱镜耦合仪和原子力显微镜（AFM）研究了不同溶剂量和不同ZPO量情况下，薄膜的折射率、厚度以及表面形貌变化情况。研究结果表明 |
| metadata_83 | 中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心 |
| Subject Area | 光电子学 |
| Funding Organization | 国家自然科学基金资助项目（6 5 7 6,6 477 35） |
| Indexed By | CSCD |
| Language | 中文 |
| CSCD ID | CSCD:2950573 |
| Date Available | 2010-11-23 |
| Citation statistics | |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16189 |
| Collection | 中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 王玥,吴远大,李建光,等. 有机／无机杂化SiO_2／Si光波导薄膜的制备及表征[J]. 半导体光电,2007,28(4):525-527. |
| APA | 王玥,吴远大,李建光,王红杰,&胡雄伟.(2007).有机／无机杂化SiO_2／Si光波导薄膜的制备及表征.半导体光电,28(4),525-527. |
| MLA | 王玥,et al."有机／无机杂化SiO_2／Si光波导薄膜的制备及表征".半导体光电 28.4(2007):525-527. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 3987.pdf（326KB） | 限制开放 | -- | Application Full Text | |||
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