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有机/无机杂化SiO_2/Si光波导薄膜的制备及表征 | |
王玥![]() | |
2007 | |
Source Publication | 半导体光电
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Volume | 28Issue:4Pages:525-527 |
Abstract | 采用有机/无机杂化溶胶-凝胶(sol-gel)法制备了SiO_2光波导薄膜材料。采用甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷(MAPTMS)作为反应先躯体,四丙氧基锆(ZPO)作为调节折射率的材料,正丙醇(n-propyl alcohol)为溶剂,利用旋涂方法在Si基片上成膜,采取低温长时间、高温短时间的热处理方式,制备出无龟裂薄膜。分别采用棱镜耦合仪和原子力显微镜(AFM)研究了不同溶剂量和不同ZPO量情况下,薄膜的折射率、厚度以及表面形貌变化情况。研究结果表明 |
metadata_83 | 中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心 |
Subject Area | 光电子学 |
Funding Organization | 国家自然科学基金资助项目(6 5 7 6,6 477 35) |
Indexed By | CSCD |
Language | 中文 |
CSCD ID | CSCD:2950573 |
Date Available | 2010-11-23 |
Citation statistics | |
Document Type | 期刊论文 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16189 |
Collection | 中国科学院半导体研究所(2009年前) |
Recommended Citation GB/T 7714 | 王玥,吴远大,李建光,等. 有机/无机杂化SiO_2/Si光波导薄膜的制备及表征[J]. 半导体光电,2007,28(4):525-527. |
APA | 王玥,吴远大,李建光,王红杰,&胡雄伟.(2007).有机/无机杂化SiO_2/Si光波导薄膜的制备及表征.半导体光电,28(4),525-527. |
MLA | 王玥,et al."有机/无机杂化SiO_2/Si光波导薄膜的制备及表征".半导体光电 28.4(2007):525-527. |
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