SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)
有机/无机杂化SiO_2/Si光波导薄膜的制备及表征
王玥; 吴远大; 李建光; 王红杰; 胡雄伟
2007
Source Publication半导体光电
Volume28Issue:4Pages:525-527
Abstract采用有机/无机杂化溶胶-凝胶(sol-gel)法制备了SiO_2光波导薄膜材料。采用甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷(MAPTMS)作为反应先躯体,四丙氧基锆(ZPO)作为调节折射率的材料,正丙醇(n-propyl alcohol)为溶剂,利用旋涂方法在Si基片上成膜,采取低温长时间、高温短时间的热处理方式,制备出无龟裂薄膜。分别采用棱镜耦合仪和原子力显微镜(AFM)研究了不同溶剂量和不同ZPO量情况下,薄膜的折射率、厚度以及表面形貌变化情况。研究结果表明
metadata_83中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心
Subject Area光电子学
Funding Organization国家自然科学基金资助项目(6 5 7 6,6 477 35)
Indexed ByCSCD
Language中文
CSCD IDCSCD:2950573
Date Available2010-11-23
Citation statistics
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16189
Collection中国科学院半导体研究所(2009年前)
Recommended Citation
GB/T 7714
王玥,吴远大,李建光,等. 有机/无机杂化SiO_2/Si光波导薄膜的制备及表征[J]. 半导体光电,2007,28(4):525-527.
APA 王玥,吴远大,李建光,王红杰,&胡雄伟.(2007).有机/无机杂化SiO_2/Si光波导薄膜的制备及表征.半导体光电,28(4),525-527.
MLA 王玥,et al."有机/无机杂化SiO_2/Si光波导薄膜的制备及表征".半导体光电 28.4(2007):525-527.
Files in This Item:
File Name/Size DocType Version Access License
3987.pdf(326KB) 限制开放--Application Full Text
Related Services
Recommend this item
Bookmark
Usage statistics
Export to Endnote
Google Scholar
Similar articles in Google Scholar
[王玥]'s Articles
[吴远大]'s Articles
[李建光]'s Articles
Baidu academic
Similar articles in Baidu academic
[王玥]'s Articles
[吴远大]'s Articles
[李建光]'s Articles
Bing Scholar
Similar articles in Bing Scholar
[王玥]'s Articles
[吴远大]'s Articles
[李建光]'s Articles
Terms of Use
No data!
Social Bookmark/Share
All comments (0)
No comment.
 

Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.