有机／无机杂化SiO_2／Si光波导薄膜的制备及表征

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题名:	有机／无机杂化SiO_2／Si光波导薄膜的制备及表征
作者:	王玥; 吴远大; 李建光; 王红杰; 胡雄伟
发表日期:	2007
摘要:	采用有机／无机杂化溶胶-凝胶（sol-gel）法制备了SiO_2光波导薄膜材料。采用甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷（MAPTMS）作为反应先躯体，四丙氧基锆（ZPO）作为调节折射率的材料，正丙醇（n-propyl alcohol）为溶剂，利用旋涂方法在Si基片上成膜，采取低温长时间、高温短时间的热处理方式，制备出无龟裂薄膜。分别采用棱镜耦合仪和原子力显微镜（AFM）研究了不同溶剂量和不同ZPO量情况下，薄膜的折射率、厚度以及表面形貌变化情况。研究结果表明
刊名:	半导体光电
专题:	中国科学院半导体研究所（2009年前）_期刊论文

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王玥;吴远大;李建光;王红杰;胡雄伟.有机／无机杂化SiO_2／Si光波导薄膜的制备及表征,半导体光电,2007,28(4):525-527

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