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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: 盘片式光纤传感器灵敏度计算方法
作者: 王永杰;  李芳;  肖浩;  张松伟;  王锐;  刘育梁
发表日期: 2007
摘要: 系统地开展了对各类盘片式光纤传感器灵敏度的研究工作。以周边固支、中心镶嵌刚性质量块的盘片式光纤加速度传感器为例,分析了传感器弹性盘片上各点的应力应变状态;结合迈克耳孙干涉仪原理,建立了计算传感器加速度灵敏度的数学模型,并讨论了粘贴光纤盘的最佳尺寸。制作两个相应的传感器进行对比实验,验证了上述计算模型的正确性。采用上述模型系统地推导了不同边界条件情况下盘片式光纤传感器的粘贴区域和灵敏度计算公式。对盘片式光纤传感器如光纤加速度传感器、光纤压力传感器、光纤水听器等的设计制作具有理论指导作用。
刊名: 光学学报
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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王永杰;李芳;肖浩;张松伟;王锐;刘育梁.盘片式光纤传感器灵敏度计算方法,光学学报,2007,27(8):1387-1392
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