纳米硅镶嵌氮化硅薄膜的制备及非线性光学性质研究

高级检索注册


	研究部门
	学科主题
	内容类型期刊论文学位论文会议论文专著演示报告成果专利其他
	所有条目
	所有作者

题名:	纳米硅镶嵌氮化硅薄膜的制备及非线性光学性质研究
作者:	吕蓬; 郭亨群; 申继伟; 王启明
发表日期:	2008
摘要:	采用射频磁控反应溅射法结合热退火处理技术制备纳米硅镶嵌氮化硅（nc-Si/SiNx）复合薄膜。通过X射线能谱（EDS）、红外光谱（IR）、X射线衍射（XRD）及紫外-可见吸收光谱（UV-vis）的测定,对薄膜进行了组分、键合状态、结构及光学带隙的表征。采用皮秒激光运用单光束Z扫描技术开展了对该复合薄膜的非线性光学性质的研究,测得其三阶非线性折射率系数和非线性光吸收系数分别为10~(-8)esu和10~(-8)m/W量级,并将薄膜这种三阶光学非线性增强的原因归因于量子限域效应。
刊名:	功能材料
专题:	中国科学院半导体研究所（2009年前）_期刊论文

条目包含的文件

文件		大小	格式
3942.pdf		408Kb	Adobe PDF	联系获取全文

许可声明：条目相关作品遵循知识共享协议(Creative Commons)。

推荐引用方式：

吕蓬;郭亨群;申继伟;王启明.纳米硅镶嵌氮化硅薄膜的制备及非线性光学性质研究,功能材料,2008,39(1):44-47

所有评论 (0)

暂无评论