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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: An Improvement on 2× 2 Silicon-on-Insulator Mach-Zehnder Thermo-Optical Switch
作者: YANG Di;  YU Jinzhong;  CHEN Shaowu
发表日期: 2008
摘要: An improved 2 ×2 silicon-on-insulator Mach-Zehnder thermo-optical switch is designed and fabricated, which is based on strongly guided multimode interference couplers and single- mode phase-shifting arms. The multimode interference couplers and input/output waveguides are deeply etched to improve coupler performances and coupler-waveguide coupling efficiencies. However, shallow etching is used in the phase-shifting arms to guarantee single-mode property. The strongly guided coupler presents an attractive uniformity about 0. 03 dB and a low propagation loss of -0.6 dB. The 2× 2 switch shows an insertion loss as low as -6.8 dB, where the fiber-waveguide coupling loss of -4.3 dB is included, and the response-time is measured as short as 6.8 μs, which are much better than our previous results.
刊名: 光子学报
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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推荐引用方式:
YANG Di;YU Jinzhong;CHEN Shaowu.An Improvement on 2× 2 Silicon-on-Insulator Mach-Zehnder Thermo-Optical Switch,光子学报,2008,37(5):931-934
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