SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)
AlGaN/GaN型气敏传感器对于C0的响应研究
冯春; 王晓亮; 王新华; 肖红领; 王翠梅; 胡国新; 冉军学; 王军喜
2008
Source Publication半导体学报
Volume29Issue:7Pages:1387-1390
Abstract研究了基于AlGaN/GaN型结构的气敏传感器对于C0的传感性.制备出AlGaN/GaN型气敏传感器器件,并测试得到了器件在50℃时对于不同浓度(1%,9000,8000,5000和1000ppm)的C0的响应情况;测试并分析了1%CO在50和100℃下响应度的差异,计算了通人1%CO前后器件的肖特基势垒高度的变化和灵敏度随电压的分布关系.结果表明,器件的灵敏度强烈依赖于器件的工作温度和通入的气体浓度,随着温度和浓度的增加,器件的灵敏度呈单调增加,器件在100℃空气气氛中表现出了良好恢复性能.
metadata_83中国科学院半导体研究所
Subject Area半导体材料
Funding Organization中国科学院知识创新工程(批准号:YYYJ- 7 1- 2),国家自然科学基金(批准号:6 576 46,6 6 6 2),国家重点基础研究发展规划(批准号:2 2CB3119 3,2 6CB6 49 5,51327 5 5)资助项目
Indexed ByCSCD
Language中文
CSCD IDCSCD:3330201
Date Available2010-11-23
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Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16007
Collection中国科学院半导体研究所(2009年前)
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GB/T 7714
冯春,王晓亮,王新华,等. AlGaN/GaN型气敏传感器对于C0的响应研究[J]. 半导体学报,2008,29(7):1387-1390.
APA 冯春.,王晓亮.,王新华.,肖红领.,王翠梅.,...&王军喜.(2008).AlGaN/GaN型气敏传感器对于C0的响应研究.半导体学报,29(7),1387-1390.
MLA 冯春,et al."AlGaN/GaN型气敏传感器对于C0的响应研究".半导体学报 29.7(2008):1387-1390.
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