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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: 基于SOI硅片的硅微电极制作与评估
作者: 隋晓红;  陈弘达
发表日期: 2008
摘要: 采用微机电系统(MEMS)工艺方法制作了基于SOI衬底的七通道硅微电极,用于视神经视觉修复.通过噪声分析确定了硅微电极的金属暴露位点的几何尺寸.优化设计了硅微电极的几何结构,以便于减小植入损伤.阻抗测试结果表明,当测试电压为50mVpp时,1kHz频率下,微电极的单通道阻抗为2.3MQ,适用于神经电信号记录.在体实验结果表明,动物初级视皮层记录到的神经电信号幅度为8μV.
刊名: 半导体学报
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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隋晓红;陈弘达.基于SOI硅片的硅微电极制作与评估,半导体学报,2008,29(11):2169-2174
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