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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: GaAs基MOEMS波长可调谐滤波器的设计和理论模拟
作者: 秦龙;  韩勤;  杨晓红;  朱彬;  鞠研玲
发表日期: 2009
摘要: 采用传输矩阵理论和结合悬臂梁的电学一机械模型对GaAs基1.55 μm微光电机械系统(MOEMS)波长可调谐滤波器的光学和电学特性进行了深入的对比分析和研究.结果表明,采用800 nm厚的空气腔可以实现滤波器波长的调谐范围为100 nm,所需最大反向偏压为4 V,波长的调谐速率可以达到1.83 MHZ.
刊名: 半导体光电
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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推荐引用方式:
秦龙;韩勤;杨晓红;朱彬;鞠研玲.GaAs基MOEMS波长可调谐滤波器的设计和理论模拟,半导体光电,2009,30(2):187-190
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