SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)
GaAs基MOEMS波长可调谐滤波器的设计和理论模拟
秦龙; 韩勤; 杨晓红; 朱彬; 鞠研玲
2009
Source Publication半导体光电
Volume30Issue:2Pages:187-190
Abstract采用传输矩阵理论和结合悬臂梁的电学一机械模型对GaAs基1.55 μm微光电机械系统(MOEMS)波长可调谐滤波器的光学和电学特性进行了深入的对比分析和研究.结果表明,采用800 nm厚的空气腔可以实现滤波器波长的调谐范围为100 nm,所需最大反向偏压为4 V,波长的调谐速率可以达到1.83 MHZ.
metadata_83中国科学院半导体研究所
Subject Area光电子学
Funding Organization国家重点基础研究发展规划(973计划),国家高技术研究发展计划(863计划),国家自然科学基金
Indexed ByCSCD
Language中文
CSCD IDCSCD:3503624
Date Available2010-11-23
Citation statistics
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/15847
Collection中国科学院半导体研究所(2009年前)
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GB/T 7714
秦龙,韩勤,杨晓红,等. GaAs基MOEMS波长可调谐滤波器的设计和理论模拟[J]. 半导体光电,2009,30(2):187-190.
APA 秦龙,韩勤,杨晓红,朱彬,&鞠研玲.(2009).GaAs基MOEMS波长可调谐滤波器的设计和理论模拟.半导体光电,30(2),187-190.
MLA 秦龙,et al."GaAs基MOEMS波长可调谐滤波器的设计和理论模拟".半导体光电 30.2(2009):187-190.
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