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GaAs基MOEMS波长可调谐滤波器的设计和理论模拟 | |
秦龙; 韩勤![]() ![]() | |
2009 | |
Source Publication | 半导体光电
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Volume | 30Issue:2Pages:187-190 |
Abstract | 采用传输矩阵理论和结合悬臂梁的电学一机械模型对GaAs基1.55 μm微光电机械系统(MOEMS)波长可调谐滤波器的光学和电学特性进行了深入的对比分析和研究.结果表明,采用800 nm厚的空气腔可以实现滤波器波长的调谐范围为100 nm,所需最大反向偏压为4 V,波长的调谐速率可以达到1.83 MHZ. |
metadata_83 | 中国科学院半导体研究所 |
Subject Area | 光电子学 |
Funding Organization | 国家重点基础研究发展规划(973计划),国家高技术研究发展计划(863计划),国家自然科学基金 |
Indexed By | CSCD |
Language | 中文 |
CSCD ID | CSCD:3503624 |
Date Available | 2010-11-23 |
Citation statistics | |
Document Type | 期刊论文 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/15847 |
Collection | 中国科学院半导体研究所(2009年前) |
Recommended Citation GB/T 7714 | 秦龙,韩勤,杨晓红,等. GaAs基MOEMS波长可调谐滤波器的设计和理论模拟[J]. 半导体光电,2009,30(2):187-190. |
APA | 秦龙,韩勤,杨晓红,朱彬,&鞠研玲.(2009).GaAs基MOEMS波长可调谐滤波器的设计和理论模拟.半导体光电,30(2),187-190. |
MLA | 秦龙,et al."GaAs基MOEMS波长可调谐滤波器的设计和理论模拟".半导体光电 30.2(2009):187-190. |
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