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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: GaN基激光器的特性
作者: 张立群;  张书明;  江德生;  朱建军;  赵德刚;  杨辉
发表日期: 2009
摘要: GaN基激光器具有广泛的应用.如何获得平整腔面是蓝宝石衬底上制作GaN激光器的困难之一.通过对解理面的分析和不同衬底厚度时腔面形貌的比较,发现减薄衬底可以有效降低腔面粗糙度.当外延片厚度减薄至50μm时,获得近似镜面的腔面.激光器的测量证实了腔面的改善可以降低阈值电流,增加斜率效率.利用二维光波导模型计算了脊形高度对限制因子和远场分布的影响.计算结果说明,增加脊形高度可以增加限制因子,降低远场纵横比.通过测量具有不同脊形高度的器件,证实了脊形高度增加,阈值电流降低、远场纵横比减小.
刊名: 红外与激光工程
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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张立群;张书明;江德生;朱建军;赵德刚;杨辉.GaN基激光器的特性,红外与激光工程,2009,38(1):41-44
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