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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: 硅微电子工业的发展限制及对策
作者: 刘忠立
发表日期: 2009
摘要: 简要介绍了硅微电子工业的发展状态、限制及对策.为了保持硅微电子工业的继续发展,主要的对策是利用新的结构材料以及新的器件结构和器件原理.在此基础上,介绍了新形势下硅微电子器件及电路辐射加固的考虑.
刊名: 微电子学
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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刘忠立.硅微电子工业的发展限制及对策,微电子学,2009,39(4):552-554
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