SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)
硅微电子工业的发展限制及对策
刘忠立
2009
Source Publication微电子学
Volume39Issue:4Pages:552-554
Abstract简要介绍了硅微电子工业的发展状态、限制及对策.为了保持硅微电子工业的继续发展,主要的对策是利用新的结构材料以及新的器件结构和器件原理.在此基础上,介绍了新形势下硅微电子器件及电路辐射加固的考虑.
metadata_83中国科学院半导体研究所
Subject Area微电子学
Indexed ByCSCD
Language中文
CSCD IDCSCD:3671016
Date Available2010-11-23
Citation statistics
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/15703
Collection中国科学院半导体研究所(2009年前)
Recommended Citation
GB/T 7714
刘忠立. 硅微电子工业的发展限制及对策[J]. 微电子学,2009,39(4):552-554.
APA 刘忠立.(2009).硅微电子工业的发展限制及对策.微电子学,39(4),552-554.
MLA 刘忠立."硅微电子工业的发展限制及对策".微电子学 39.4(2009):552-554.
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