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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: 硅基光波导化学传感器研究
作者: 吴远大;  安俊明;  李建光;  王玥;  尹小杰;  张家顺;  王红杰;  胡雄伟
发表日期: 2009
摘要: 研究了基于硅基集成光波导的马赫-曾德干涉仪(MZI)型化学传感芯片的设计、制备及相关敏感特性的模拟和分析.传感芯片采用硅基二氧化硅光波导材料,利用与传统互补型金属氧化物半导体(CMOS)兼容的工艺技术制作.通过波导的单模设计以及对MZI结构的优化,获得了有效折射率分辨率达到10~(-7)量级的高灵敏度传感芯片.作为化学传感器,把MZI的其中一臂设计成传感臂.并进行适当的表面修饰,可制作出高灵敏度的干涉型光波导化学传感器.最后,对该传感器的折射率分辨率、敏感特性等进行了分析、模拟,同时,对面临的关键问题进行了分析和讨论.
刊名: 光学学报
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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吴远大;安俊明;李建光;王玥;尹小杰;张家顺;王红杰;胡雄伟.硅基光波导化学传感器研究,光学学报,2009,29(7):1983-1986
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