硅基光波导化学传感器研究

SEMI OpenIR > 中国科学院半导体研究所（2009年前）

	硅基光波导化学传感器研究
	吴远大; 安俊明; 李建光; 王玥; 尹小杰; 张家顺; 王红杰; 胡雄伟
	2009
Source Publication	光学学报
Volume	29 Issue:7 Pages:1983-1986
Abstract	研究了基于硅基集成光波导的马赫-曾德干涉仪(MZI)型化学传感芯片的设计、制备及相关敏感特性的模拟和分析.传感芯片采用硅基二氧化硅光波导材料,利用与传统互补型金属氧化物半导体(CMOS)兼容的工艺技术制作.通过波导的单模设计以及对MZI结构的优化,获得了有效折射率分辨率达到10~(-7)量级的高灵敏度传感芯片.作为化学传感器,把MZI的其中一臂设计成传感臂.并进行适当的表面修饰,可制作出高灵敏度的干涉型光波导化学传感器.最后,对该传感器的折射率分辨率、敏感特性等进行了分析、模拟,同时,对面临的关键问题进行了分析和讨论.
metadata_83	中国科学院半导体研究所光电研发中心
Subject Area	光电子学
Funding Organization	国家自然科学基金,国家863计划
Indexed By	CSCD
Language	中文
CSCD ID	CSCD:3744094
Date Available	2010-11-23
Citation statistics
Document Type	期刊论文
Identifier	http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/15661
Collection	中国科学院半导体研究所（2009年前）
Recommended Citation GB/T 7714	吴远大,安俊明,李建光,等. 硅基光波导化学传感器研究[J]. 光学学报,2009,29(7):1983-1986.
APA	吴远大.,安俊明.,李建光.,王玥.,尹小杰.,...&胡雄伟.(2009).硅基光波导化学传感器研究.光学学报,29(7),1983-1986.
MLA	吴远大,et al."硅基光波导化学传感器研究".光学学报 29.7(2009):1983-1986.

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