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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: SICL4 REACTIVE ION ETCHING FOR GAAS OPTICAL WAVE-GUIDES
作者: SONEK GJ;  JIANZHONG L;  WOLF ED;  BALLANTYNE JM
发表日期: 1985
刊名: JOURNAL OF LIGHTWAVE TECHNOLOGY
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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SONEK GJ; JIANZHONG L; WOLF ED; BALLANTYNE JM.SICL4 REACTIVE ION ETCHING FOR GAAS OPTICAL WAVE-GUIDES,JOURNAL OF LIGHTWAVE TECHNOLOGY,1985,3(5):1147-1150
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