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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: CHANNELING ANALYSIS OF SELF-IMPLANTED AND RECRYSTALLIZED SILICON ON SAPPHIRE
作者: FAN RY;  YU YH;  YIN SD;  LIN LY
发表日期: 1986
刊名: NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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FAN RY; YU YH; YIN SD; LIN LY.CHANNELING ANALYSIS OF SELF-IMPLANTED AND RECRYSTALLIZED SILICON ON SAPPHIRE,NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS,1986,15(0):350-351
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