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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: SI-CL BONDS IN A-SI-H-CL FILMS
作者: WANG ZP;  HAN HX;  ZHAO XS;  LI GH
发表日期: 1986
刊名: SOLID STATE COMMUNICATIONS
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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WANG ZP; HAN HX; ZHAO XS; LI GH.SI-CL BONDS IN A-SI-H-CL FILMS,SOLID STATE COMMUNICATIONS ,1986,58(10):709-711
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