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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: LANTHANUM SILICIDE FORMATION IN THIN LA-SI MULTILAYER FILMS
作者: HSU CC;  HO J;  QIAN JJ;  WANG YT;  WANG YX
发表日期: 1990
刊名: VACUUM
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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HSU CC; HO J; QIAN JJ; WANG YT; WANG YX.LANTHANUM SILICIDE FORMATION IN THIN LA-SI MULTILAYER FILMS,VACUUM ,1990,41(0):1425-1427
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