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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: STUDY OF TI/LNP INTERFACE BY PES
作者: JI MR;  WU JX;  MA MS;  LIU XM;  LI BQ;  XU ZJ
发表日期: 1992
摘要: The interface of Ti/InP(110) was studied by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) and ultraviolet photoelectron spectroscopy (UPS). It is evident that deposition of Ti on the surface of InP(110) at room temperature introduced a break of the In-P bond and a diffusion of In atoms into the Ti film. The interaction of Ti and P occurred at a temperature of 350-degrees-C.
刊名: VACUUM
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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JI MR; WU JX; MA MS; LIU XM; LI BQ; XU ZJ.STUDY OF TI/LNP INTERFACE BY PES,VACUUM ,1992,43(11):1157-1158
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