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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: OXYGEN ANALYSES IN HIGH-TC SUPERCONDUCTING FILMS BY MEV PROTON ELASTIC BACKSCATTERING
作者: JIANG WL;  ZHU PR;  YIN SD;  XU TB;  REN MM;  ZHOU JS
发表日期: 1993
摘要: A technique for analysis of total oxygen contents in high-T(c) superconducting films is demonstrated. It uses elastic backscattering (EBS) of 1.5-2.5 MeV protons. By comparing the H EBS spectra from substrate materials, the absolute oxygen content in the films can be easily calculated. It is estimated that the analysis can be accurate to better than 5% for YBCO films with thicknesses from several hundred angstroms to several microns. Comparisons with RBS are given and advantages of this technique are shown.
KOS主题词: Thin films
刊名: NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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JIANG WL; ZHU PR; YIN SD; XU TB; REN MM; ZHOU JS.OXYGEN ANALYSES IN HIGH-TC SUPERCONDUCTING FILMS BY MEV PROTON ELASTIC BACKSCATTERING,NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS ,1993,83(4):552-556
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