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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: A NEW METHOD FOR DETECTING SUBTLE CHANGES IN SI-H BONDS OF A-SI-H
作者: KONG GL;  ZHANG GL;  ZHAO YP;  SUN GS;  PAN GQ;  LIAO XB
发表日期: 1993
摘要: A new method developed for detecting possible subtle changes in Si-H bonds of a-Si:H after light soaking is described in detail. The method promises a sensitivity orders of magnitude higher than that reached by the usual IR spectrometer. Some preliminary results on phosphorus doped a-Si:H are given.
KOS主题词: metastable state
刊名: JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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KONG GL; ZHANG GL; ZHAO YP; SUN GS; PAN GQ; LIAO XB.A NEW METHOD FOR DETECTING SUBTLE CHANGES IN SI-H BONDS OF A-SI-H,JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS,1993,166(0):211-214
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