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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: Raman scattering of nanocrystalline silicon embedded in SiO2
作者: Ma ZX;  Liao XB;  Kong GL;  Chu JH
发表日期: 2000
摘要: Raman scattering of nanocrystalline silicon embedded in SiO2 matrix is systematically investigated. It is found that the Raman spectra can be well fitted by 5 Lorentzian lines in the Raman shift range of 100-600 cm(-1). The two-phonon scattering is also observed in the range of 600-1100 cm(-1) The experimental results indicate that the silicon crystallites in the films consist of nanocrystalline phase and amorphous phase; both can contribute to the Raman scattering. Besides the red-shift of the first order optical phonon modes with the decreasing size of silicon nanocrystallites, we have also found an enhancement effect on the second order Raman scattering, and the size effect on their Raman shift.
KOS主题词: Raman effect;  amorphous silicon;  Infrared spectra;  Spectrum analysis
刊名: SCIENCE IN CHINA SERIES A-MATHEMATICS PHYSICS ASTRONOMY
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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Ma ZX; Liao XB; Kong GL; Chu JH .Raman scattering of nanocrystalline silicon embedded in SiO2 ,SCIENCE IN CHINA SERIES A-MATHEMATICS PHYSICS ASTRONOMY,2000,43(4):414-420
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