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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: Characteristics of circular waveguide photodetectors using SiGe/Si multiple quantum wells
作者: Li C;  Yang QQ;  Wang HJ;  Cheng BW;  Yu JZ;  Wang QM
发表日期: 2000
摘要: We report on the fabrication of circular waveguide photodetectors with a response near 1.3 mu m wavelength using SiGe/Si multiple quantum wells. The quantum efficiency of the circular waveguide photodetector is improved when compared with that of the rib waveguide photodetector in the same wavelength at 1.3 mu m The frequency response of the photodetectors is simulated. The emciency-bandwidth product of the circular waveguide photodetectors is improved correspondingly. (C) 2000 Published by Elsevier Science B.V. All rights reserved.
KOS主题词: responsivity;  QUANTUM EFFICIENCY
刊名: OPTICAL MATERIALS
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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推荐引用方式:
Li C; Yang QQ; Wang HJ; Cheng BW; Yu JZ; Wang QM .Characteristics of circular waveguide photodetectors using SiGe/Si multiple quantum wells ,OPTICAL MATERIALS,2000,14(3):267-269
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