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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: Silicon-on-insulator based 2 x 2 multimode interference coupler with large tolerance
作者: Wei HZ;  Yu JZ;  Liu ZL;  Zhang XF;  Shi W;  Fang CS
发表日期: 2001
摘要: We demonstrate a type of 2 x 2 multimode interference 3 dB coupler based on silicon-on-insulator. The fabrication tolerance was investigated by the effective index method and the guide mode method. The devices with different lengths were fabricated and near-held output images were obtained. Tolerances to width, length and etch depth are 2, 200 and 2 mum, respectively. The devices show a uniform power distribution.
刊名: CHINESE PHYSICS LETTERS
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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推荐引用方式:
Wei HZ; Yu JZ; Liu ZL; Zhang XF; Shi W; Fang CS .Silicon-on-insulator based 2 x 2 multimode interference coupler with large tolerance ,CHINESE PHYSICS LETTERS,2001 ,18(2):245-247
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