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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: Fabrication of 4 x 4 tapered MMI coupler with large cross section
作者: Wei HZ;  Yu JZ;  Liu ZL;  Zhang XF;  Shi W;  Fang CS
发表日期: 2001
摘要: MMI coupler with large cross section has low coupling loss between the device and fiber. However, large chip area is required. Recently proposed N x N tapered MMI coupler shows a substantial reduction in device geometry. No such kind of devices with N > 2 has yet been realized up to now. The authors have demonstrated a 4 x 4 parabolically tapered MMI coupler with large cross section that can match the SM fiber in silicon-on-insulator (SOI) technology. The device exhibits a minimum uniformity of 0.36 dB and excess loss of 3.7 dB, It represents a key component for realization of MMI-based silicon integrated optical circuit technology.
KOS主题词: Electric connectors;  semiconductor-insulator boundaries;  Heraldry
刊名: IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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Wei HZ; Yu JZ; Liu ZL; Zhang XF; Shi W; Fang CS .Fabrication of 4 x 4 tapered MMI coupler with large cross section ,IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS,2001 ,13(5):466-468
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