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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: Compact 3-dB tapered multimode interference coupler in silicon-on-insulator
作者: Wei HZ;  Yu JZ;  Zhang XF;  Liu ZL
发表日期: 2001
摘要: We have fabricated a compact 3-dB multimode interference coupler with a large silicon-on-insulator cross section. To reduce the length of the usual symmetric interference multimode interference coupler, we propose using a parabolically tapered structure. The length of the device is 398 mum. The device has a uniformity of 0.28 dB. (C) 2001 Optical Society of America.
KOS主题词: FABRICATION;  Heraldry
刊名: OPTICS LETTERS
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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Wei HZ; Yu JZ; Zhang XF; Liu ZL .Compact 3-dB tapered multimode interference coupler in silicon-on-insulator ,OPTICS LETTERS,2001 ,26(12):878-880
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