高级检索   注册
SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: Si-based resonant-cavity-enhanced photodetector
作者: Wang QM;  Li C;  Cheng BW;  Yang QQ
发表日期: 2001
摘要: We report one top-illumination and one bottom-illumination SiGe/Si multiple quantum-well (MQW) resonant-cavity-enhanced (RCE) photodetector fabricated on a separation-by-implanted-oxygen (SIMOX) wafer operating near 1300 nm. The buried oxygen layer in SIMOX is used as a mirror to form a vertical cavity with the silicon dioxide/silicon Bragg reflector deposited on the top surface. A peak responsivity with a reverse bias of 5 V is measured 10.2 mA/W at 1285 nm, a full width at half maximum of 25 nm for the top-illumination RCE photodetector, 19 mA/W at 1305 nm, and a full width at half maximum of 14 nm for the bottom-illumination one. The external quantum efficiency of the bottom-illumination RCE photodetector is up to 2.9% at 1305 nm, with a reverse bias of 25V. The responsivity of the bottom-illumination RCE photodetector is improved by two-fold compared with that of the top-illumination one. (C) 2001 Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers.
KOS主题词: Lithography, Electron beam
刊名: OPTICAL ENGINEERING
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

条目包含的文件

文件 大小格式
1129.pdf44KbAdobe PDF 联系获取全文


许可声明:条目相关作品遵循知识共享协议(Creative Commons)。


推荐引用方式:
Wang QM; Li C; Cheng BW; Yang QQ .Si-based resonant-cavity-enhanced photodetector ,OPTICAL ENGINEERING,2001 ,40(7):1192-1194
个性服务
 推荐该条目
 保存到收藏夹
 查看访问统计
 Endnote导出
Google Scholar
 Google Scholar中相似的文章
 [Wang QM]的文章
 [Li C]的文章
 [Cheng BW]的文章
CSDL跨库检索
 CSDL跨库检索中相似的文章
 [Wang QM]的文章
 [Li C]的文章
 [Cheng BW]的文章
Scirus search
 Scirus中相似的文章
Social Bookmarking
  Add to CiteULike  Add to Connotea  Add to Del.icio.us  Add to Digg  Add to Reddit 
所有评论 (0)
暂无评论

除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。

 

 

Valid XHTML 1.0! 版权所有 © 2007-2012  中国科学院半导体研究所  -反馈
系统开发与技术支持:中国科学院国家科学图书馆兰州分馆(信息系统部)
本系统基于 MIT 和 Hewlett-Packard 的 DSpace 软件开发