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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: Size tolerance analysis of a 4X4 tapered multimode interference coupler in a silicon-on-insulator structure
作者: Yan QF;  Yu JZ;  Liu ZL
发表日期: 2003
摘要: Size tolerance of a 4X4 general interference tapered multimode interference (MMI) coupler in a silicon-on-insulator (SOI) structure is investigated by means of a 2-D finite difference beam propagation method (2D-FDBPM), together with an effective refractive index method (EIM). The results show that the tapered multimode interference coupler exhibits relatively larger size tolerance when light is launched from the edgeport than from midport, though it has much better output power uniformity when light is launched from midport. Besides that, it can reduce the device length greatly. The 4X4 general interference tapered MMI coupler has a slightly larger size tolerance compared with a conventional straight multimode interference coupler. (C) 2003 Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers.
KOS主题词: semiconductor-insulator boundaries
刊名: OPTICAL ENGINEERING
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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Yan QF; Yu JZ; Liu ZL .Size tolerance analysis of a 4X4 tapered multimode interference coupler in a silicon-on-insulator structure ,OPTICAL ENGINEERING,2003,42 (8):2235-2239
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