SEMI OpenIR  > 半导体集成技术工程研究中心
基于电子束曝光技术的硅纳米线器件的研究
王颖
学位类型博士
导师杨富华 ; 韩伟华
2010
学位授予单位中国科学院研究生院
学位授予地点北京
学位专业微电子学与固体电子学
学科领域微电子学
语种中文
公开日期2010-06-08
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/11322
专题半导体集成技术工程研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
王颖. 基于电子束曝光技术的硅纳米线器件的研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2010.
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