学科主题半导体材料
直径六英寸半绝缘砷化镓单晶生长技术
李晋闽; 曾一平; 惠峰; 卜俊鹏; 王文军; 郑红军; 孙红方
获奖类别省部级
获奖等级二等奖
2007
关键词六英寸半绝缘砷化镓单晶
语种中文
文献类型成果
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/11134
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
李晋闽,曾一平,惠峰,等. 直径六英寸半绝缘砷化镓单晶生长技术. 2007.
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